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文献

J-GLOBAL ID：201302206657338232 整理番号：13A0026867

薄膜圧電MEMS

Thin-film piezoelectric MEMS

著者 (2件)：

EOM Chang-Beom

(Univ. Wisconsin-Madison)

TROLIER-MCKINSTRY Susan

(Pennsylvania State Univ.)

資料名：

MRS Bulletin (MRS Bulletin)

巻： 37 号： 11 ページ： 1007-1017 発行年： 2012年11月
JST資料番号： W1595A ISSN： 0883-7694 CODEN： MRSBEA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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