文献
J-GLOBAL ID:201302208905308607
整理番号:13A0239565
原子層蒸着SrOと化学気相蒸着RuO2層の組合わせによる導電性SrRuO3膜の成長
Growth of Conductive SrRuO3 Films by Combining Atomic Layer Deposited SrO and Chemical Vapor Deposited RuO2 Layers
著者 (7件):
HAN Jeong Hwan
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Woongkyu
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
JEON Woojin
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Sang Woon
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
HWANG Cheol Seong
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KO Changhee
(Air Liquide, Ibaraki Pref., JPN)
,
GATINEAU Julien
(Air Liquide, Ibaraki Pref., JPN)
資料名:
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻:
24
号:
24
ページ:
4686-4692
発行年:
2012年12月25日
JST資料番号:
T0893A
ISSN:
0897-4756
CODEN:
CMATEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)