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文献
J-GLOBAL ID:201302208905308607   整理番号:13A0239565

原子層蒸着SrOと化学気相蒸着RuO2層の組合わせによる導電性SrRuO3膜の成長

Growth of Conductive SrRuO3 Films by Combining Atomic Layer Deposited SrO and Chemical Vapor Deposited RuO2 Layers
著者 (7件):
HAN Jeong Hwan
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
LEE Woongkyu
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
JEON Woojin
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
LEE Sang Woon
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
HWANG Cheol Seong
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
KO Changhee
(Air Liquide, Ibaraki Pref., JPN)
GATINEAU Julien
(Air Liquide, Ibaraki Pref., JPN)

資料名:
Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)

巻: 24  号: 24  ページ: 4686-4692  発行年: 2012年12月25日 
JST資料番号: T0893A  ISSN: 0897-4756  CODEN: CMATEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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