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文献
J-GLOBAL ID：201302211569879391
整理番号：13A0811172
シリコンベース電界エミッター配列から供給される低エネルギー電子による高電流低エネルギーイオンビーム上の空間電荷の中和化
Neutralization of space charge on high-current low-energy ion beam by low-energy electrons supplied from silicon based field emitter arrays
GOTOH Yasuhito
(Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN)
,
TSUJI Hiroshi
(Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN)
,
TAGUCHI Shuhei
(Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN)
,
IKEDA Keita
(Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN)
,
KITAGAWA Takayuki
(Kyoto Univ. Kyotodaigaku-Katsura, Kyoto, JPN)
,
ISHIKAWA Junzo
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
SAKAI Shigeki
(Nissin Ion Equipment Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻： 1496 ページ： 368-371 発行年： 2012年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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