文献
J-GLOBAL ID:201302213488743870
整理番号:13A0794845
ドーピングおよび再配向によるシリコン共振器における非線形性低減
NONLINEARITY REDUCTION IN SILICON RESONATORS BY DOPING AND RE-ORIENTATION
著者 (3件):
SHAHMOHAMMADI M.
(Oklahoma State Univ., Oklahoma, USA)
,
FATEMI H.
(Oklahoma State Univ., Oklahoma, USA)
,
ABDOLVAND R.
(Oklahoma State Univ., Oklahoma, USA)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
26th Vol.2
ページ:
793-796
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)