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文献
J-GLOBAL ID:201302213837156490   整理番号:13A1779033

Ar/CF4大気圧プラズマプロセシング後の溶融石英表面のモルフォロジーと化学的発展

The morphology and chemistry evolution of fused silica surface after Ar/CF4 atmospheric pressure plasma processing
著者 (6件):
JIN Huiliang
(School of Mechanical Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
XIN Qiang
(School of Mechanical Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
LI Na
(School of Mechanical Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
JIN Jiang
(School of Mechanical Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
WANG Bo
(School of Mechanical Engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN)
YAO Yingxue
(School of Mechanical Engineering and Automation, Harbin Inst. of Technol. Shenzhen Graduate School, Shenzhen 518055, CHN)

資料名:
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

巻: 286  ページ: 405-411  発行年: 2013年12月01日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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