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文献
J-GLOBAL ID：201302214111710710
整理番号：13A1594099
マイクロ作製可変インダクタンス平面コイルを用いたナノスケール変位センシング
Nanoscale displacement sensing using microfabricated variable-inductance planar coils
COSKUN M. Bulut
(Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
,
THOTAHEWA Kasun
(Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
,
YING York-sing
(Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
,
YUCE Mehmet
(Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
,
NEILD Adrian
(Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
,
ALAN Tuncay
(Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 103 号： 14 ページ： 143501-143501-4 発行年： 2013年09月30日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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