文献
J-GLOBAL ID:201302214356339023
整理番号:13A1648804
容量最適化における資格管理とそのインパクト
Qualification Management and Its Impact on Capacity Optimization
著者 (4件):
ROWSHANNAHAD Mehdi
(Ecole des Mines de Saint-Etienne, Gardanne, FRA)
,
ROWSHANNAHAD Mehdi
(Soitec, Bernin, FRA)
,
DAUZERE-PERES Stephane
(Ecole des Mines de Saint-Etienne, Gardanne, FRA)
,
CASSINI Bernard
(Soitec, Bernin, FRA)
資料名:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻:
24th
ページ:
174-179
発行年:
2013年
JST資料番号:
W0718A
ISSN:
1078-8743
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)