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文献
J-GLOBAL ID：201302218936755640
整理番号：13A0569016
TGZ型キャリブレーショングレーティングを用いた走査プローブ測定顕微鏡の計量特性の調査
INVESTIGATION OF THE METROLOGICAL CHARACTERISTICS OF A SCANNING PROBE MEASURING MICROSCOPE USING TGZ TYPE CALIBRATION GRATINGS
GOGOLINSKII K. V.
(Technological Inst. of Superhard and New Carbon Materials, Troitsk, RUS)
,
GUBSKII K. L.
(National Nuclear Res. Univ., Moscow, RUS)
,
KUZNETSOV A. P.
(National Nuclear Res. Univ., Moscow, RUS)
,
RESHETOV V. N.
(National Nuclear Res. Univ., Moscow, RUS)
,
MASLENIKOV I. I.
(Moscow Inst. of Physics and Technol. (MFTI), Dolgoprudnyi, RUS)
,
GOLUBEV S. S.
(All-Russia Res. Inst. of Metrological Serv. (VNIIMS), Moscow, RUS)
,
LYSENKO V. G.
(All-Russia Res. Inst. of Metrological Serv. (VNIIMS), Moscow, RUS)
,
RUMYANTSEV S. I.
(All-Russia Res. Inst. of Metrological Serv. (VNIIMS), Moscow, RUS)
資料名：
Measurement Techniques
(Measurement Techniques)
巻： 55 号： 4 ページ： 400-405 発行年： 2012年07月
JST資料番号： A1669A ISSN： 0543-1972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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