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文献
J-GLOBAL ID：201302219471412054
整理番号：13A1829471
表面活性化接合を用いたSi/Si界面の電気的性質
Electrical properties of Si/Si interfaces by using surface-activated bonding
LIANG J.
(Dep. of Electrical Engineering, Osaka City Univ., 3-3-138 Sugimoto, Sumiyoshi-ku, Osaka 558-8585, JPN)
,
MIYAZAKI T.
(Dep. of Electrical Engineering, Osaka City Univ., 3-3-138 Sugimoto, Sumiyoshi-ku, Osaka 558-8585, JPN)
,
MORIMOTO M.
(Dep. of Electrical Engineering, Osaka City Univ., 3-3-138 Sugimoto, Sumiyoshi-ku, Osaka 558-8585, JPN)
,
NISHIDA S.
(Dep. of Electrical Engineering, Osaka City Univ., 3-3-138 Sugimoto, Sumiyoshi-ku, Osaka 558-8585, JPN)
,
SHIGEKAWA N.
(Dep. of Electrical Engineering, Osaka City Univ., 3-3-138 Sugimoto, Sumiyoshi-ku, Osaka 558-8585, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 114 号： 18 ページ： 183703-183703-6 発行年： 2013年11月14日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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