文献
J-GLOBAL ID:201302219905002410
整理番号:13A0840914
イオンビームスパッタ蒸着により作製したSiBCN膜の機械的性質および熱安定性
Mechanical properties and thermal stability of SiBCN films prepared by ion beam assisted sputter deposition
著者 (4件):
CHOI Junho
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-Ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
HAYASHI Naohiro
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-Ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
KATO Takahisa
(Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-Ku, Tokyo 113-8656, JPN)
,
KAWAGUCHI Masahiro
(Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst., 2-4-10 Aomi, Koto-Ku, Tokyo ...)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
34
ページ:
95-99
発行年:
2013年04月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)