文献
J-GLOBAL ID:201302220035444437
整理番号:13A0028663
アドレス可能な微小流体エネルギー貯蔵MEMSデバイスの設計と作製
Design and Fabrication of Addressable Microfluidic Energy Storage MEMS Device
著者 (6件):
LIFTON Victor A.
(mPhase Technol., Inc., NJ, USA)
,
SIMON Steve
(mPhase Technol., Inc., NJ, USA)
,
HOLMQVIST Johan
(Silex Microsystems AB, Jaerfaella, SWE)
,
EBEFORS Thorbjoern
(Silex Microsystems AB, Jaerfaella, SWE)
,
JANSSON David
(Silex Microsystems AB, Jaerfaella, SWE)
,
SVEDIN Niklas
(Silex Microsystems AB, Jaerfaella, SWE)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
21
号:
6
ページ:
1392-1401
発行年:
2012年12月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)