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文献
J-GLOBAL ID：201302220521271080
整理番号：13A0228878
標準カタログ部品からのR&D真空コーティングツールの設計と構築
Designing and Building a R&D Vacuum Coating Tool from Standard Catalog Components
MOORE J. W.
(MDC Vacuum Products LLC, CA)
資料名：
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th ページ： 117-119 発行年： 2012年
JST資料番号： E0063B ISSN： 0737-5921 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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