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文献
J-GLOBAL ID:201302220642231035   整理番号:13A0850489

ta-C薄膜の深紫外光による損傷部のラマン分光解析と微小形状観察

著者 (11件):
神津知己
(レニショー)
神津知己
(防衛大)
山口誠
(機械振協 技研)
山口誠
(東京農工大)
藤塚将行
(機械振協 技研)
上野滋
(機械振協 技研)
川口雅弘
(都立産業技術研究セ)
西田謙
(防衛大)
島宏美
(防衛大)
山本孝
(防衛大)
古川保典
(オキサイド)

資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻: 60th  ページ: ROMBUNNO.27A-PA1-3  発行年: 2013年03月11日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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