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文献
J-GLOBAL ID：201302222564101351
整理番号：13A1408178
単結晶シリコンマイクロスケール超音速ノズル基づくMEMSの空気力学に関する実験的研究
Experimental Study on Aerodynamics of Microelectromechanical Systems Based Single-Crystal-Silicon Microscale Supersonic Nozzle
NAMURA Moriaki
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TORIYAMA Toshiyuki
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Journal of Fluids Engineering
(Journal of Fluids Engineering)
巻： 135 号： 8 ページ： 081101.1-081101.11 発行年： 2013年08月
JST資料番号： C0997A ISSN： 0098-2202 CODEN： JFEGA4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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