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文献
J-GLOBAL ID：201302225177725591
整理番号：13A1447084
UV-NILによる自立反射防止構造薄膜の製作
Fabrication of self-supporting antireflection-structured film by UV-NIL
ABU TALIP[A]YUSOF Nurhafizah B
,
TANIGUCHI Jun
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 110 ページ： 163-166 発行年： 2013年10月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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