文献
J-GLOBAL ID:201302225472087220
整理番号:13A0853640
太陽電池用のO3に基づくバッチ原子層堆積AlOxのc-Si表面不動態化機構の詳細な研究
Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O3-Based Batch Atomic Layer Deposited AlOx for Solar Cell Applications
著者 (19件):
LEE Hyunju
(Meiji Univ.)
,
LEE Hyunju
(JST-CREST)
,
TACHIBANA Tomihisa
(Meiji Univ.)
,
TACHIBANA Tomihisa
(JST-CREST)
,
IKENO Norihiro
(Meiji Univ.)
,
IKENO Norihiro
(JST-CREST)
,
HASHIGUCHI Hiroki
(Meiji Univ.)
,
HASHIGUCHI Hiroki
(JST-CREST)
,
TSUCHIYA Yuki
(Meiji Univ.)
,
TSUCHIYA Yuki
(JST-CREST)
,
ARAFUNE Koji
(Univ. of Hyogo)
,
ARAFUNE Koji
(JST-CREST)
,
YOSHIDA Haruhiko
(Univ. of Hyogo)
,
YOSHIDA Haruhiko
(JST-CREST)
,
SATOH Shin-ichi
(Univ. of Hyogo)
,
SATOH Shin-ichi
(JST-CREST)
,
CHIKYOW Toyohiro
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS))
,
OGURA Atsushi
(Meiji Univ.)
,
OGURA Atsushi
(JST-CREST)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
60th
ページ:
ROMBUNNO.29P-PA9-11
発行年:
2013年03月11日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)