文献
J-GLOBAL ID:201302225852991646
整理番号:13A0960646
付加情報に基づくX-Yステージの新しい6自由度測定法
A new 6-degree-of-freedom measurement method of X-Y stages based on additional information
著者 (8件):
GAO Zhenyu
(Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
GAO Zhenyu
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
HU Jinchun
(Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
HU Jinchun
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
ZHU Yu
(Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
ZHU Yu
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
DUAN Guanghong
(Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
DUAN Guanghong
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
37
号:
3
ページ:
606-620
発行年:
2013年07月
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)