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文献
J-GLOBAL ID：201302227151803767
整理番号：13A1165662
マイクロ電気機械システムの魚骨型共振器ベースのマルチ物理シミュレーションにおける可変共振周波数選択
Variable Resonance Frequency Selection for Fishbone-Shaped Microelectromechanical System Resonator Based on Multi-Physics Simulation
KURODA Shinjiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Naoya
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52 号： 6,Issue 2 ページ： 06GL14.1-06GL14.6 発行年： 2013年06月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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