文献
J-GLOBAL ID:201302228280229496
整理番号:13A0004620
スクリーン印刷りん拡散過程を利用して形成されるn+エミッタ接合の構造と電気特性へのO2アニーリング環境の流速の影響
Effects of the flow rate of O2 annealing ambient on structural and electrical properties of n+ emitter junctions formed using screen-printed phosphorus diffusion process
著者 (6件):
KIM Jin-Sung
(Chonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
YUN Hyung-Joong
(Korea Basic Sci. Inst. (KBSI), Daejeon, KOR)
,
SEO Min-Woo
(Chonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
JANARDHANAM V.
(Chonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
,
AHN Kwang-Soon
(Yeungnam Univ., Gyeongsan, KOR)
,
CHOI Chel-Jong
(Chonbuk National Univ., Jeonju, KOR)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
44
号:
11/12
ページ:
1440-1443
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)