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文献
J-GLOBAL ID：201302229467580517
整理番号：13A0854354
Au/Si(100)ウエハの触媒エッチングにより形成された”黒色シリコン”の光学的性質
Optical properties of “black silicon” formed by catalytic etching of Au/Si(100) wafers
MATSUI Yusuke
(Graduate School of Sci. and Engineering, Gunma Univ., Kiryu, Gunma 376-8515, JPN)
,
ADACHI Sadao
(Graduate School of Sci. and Engineering, Gunma Univ., Kiryu, Gunma 376-8515, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 113 号： 17 ページ： 173502-173502-9 発行年： 2013年05月07日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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