文献
J-GLOBAL ID:201302234214131027
整理番号:13A0486601
プラズマ促進原子層堆積(PEALD)により堆積したAg薄膜の新規な光学的性質
Novel Optical Properties of Ag films deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD).
著者 (4件):
PROKES S. M.
(US Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
GLEMBOCKI O. J.
(US Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
CLEVELAND E.
(US Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
CLEVELAND E.
(NRL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8467
ページ:
84670F.1-84670F.12
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)