文献
J-GLOBAL ID:201302235769900499
整理番号:13A1829546
金属酸化物の原子層堆積の間の粗度発展
Roughness evolution during the atomic layer deposition of metal oxides
著者 (5件):
PREMKUMAR Peter Antony
(Imec, B-3001 Leuven, BEL)
,
DELABIE Annelies
(Imec, B-3001 Leuven, BEL)
,
RODRIGUEZ Leonard N. J.
(Imec, B-3001 Leuven, BEL)
,
MOUSSA Alain
(Imec, B-3001 Leuven, BEL)
,
ADELMANN Christoph
(Imec, B-3001 Leuven, BEL)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
31
号:
6
ページ:
061501-061501-5
発行年:
2013年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)