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文献
J-GLOBAL ID：201302236080124692
整理番号：13A0896428
アノード側へのパルスプラズマスラスタによるフルオロカーボン膜の蒸着
Deposition of fluorocarbon films by Pulsed Plasma Thruster on the anode side
ZHANG Rui
(Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
,
ZHANG Daixian
(Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
,
ZHANG Fan
(Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
,
HE Zhen
(Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
,
WU Jianjun
(Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 270 ページ： 352-358 発行年： 2013年04月01日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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