文献
J-GLOBAL ID:201302236519483473
整理番号:13A1447105
非テーパーマイクロサイズピラーを使ったマイクロ圧縮試験によって評価した超臨界CO2エマルジョンの電気めっきで製作したニッケルの機械的特性
Mechanical properties of nickel fabricated by electroplating with supercritical CO2 emulsion evaluated by micro-compression test using non-tapered micro-sized pillar
著者 (4件):
NAGOSHI Takashi
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
,
CHANG Tso-fu Mark
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
,
TATSUO Sato
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
,
SONE Masato
(Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
110
ページ:
270-273
発行年:
2013年10月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)