文献
J-GLOBAL ID:201302237074530545
整理番号:13A0413883
イオンビーム-アシストデポジション(IBAD)によってポリイミド上にデポジットされたNi膜の構造,機械および電気特性の厚み依存性
Thickness dependence of the structural, mechanical and electrical properties of Ni films deposited on polyimide by ion beam-assisted deposition (IBAD)
著者 (2件):
XU Jun
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
SHAO Tianmin
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
45
号:
3
ページ:
691-697
発行年:
2013年03月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)