文献
J-GLOBAL ID:201302237770860592
整理番号:13A0345751
加熱原子間力カンチレバー閉ループ温度制御と高速ナノ・トポグラフィー画像化への応用
Heated atomic force cantilever closed loop temperature control and application to high speed nanotopography imaging
著者 (2件):
SOMNATH Suhas
(Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL 61801, USA)
,
KING William P.
(Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL 61801, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
192
ページ:
27-33
発行年:
2013年04月01日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)