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文献
J-GLOBAL ID:201302239290913389   整理番号:13A1181456

ドライエッチング多重ステップ工程で得た高度に組織化した多結晶シリコン表面

Highly textured multi-crystalline silicon surface obtained by dry etching multi-step process
著者 (6件):
CECCHETTO L.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
SERENELLI L.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
AGARWAL G.
(Dep. of Physics, Bhavnagar Univ., Bhavnagar, Gujrat, IND)
IZZI M.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
SALZA E.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
TUCCI M.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)

資料名:
Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)

巻: 116  ページ: 283-290  発行年: 2013年09月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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