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文献
J-GLOBAL ID：201302239290913389
整理番号：13A1181456
ドライエッチング多重ステップ工程で得た高度に組織化した多結晶シリコン表面
Highly textured multi-crystalline silicon surface obtained by dry etching multi-step process
CECCHETTO L.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
,
SERENELLI L.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
,
AGARWAL G.
(Dep. of Physics, Bhavnagar Univ., Bhavnagar, Gujrat, IND)
,
IZZI M.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
,
SALZA E.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
,
TUCCI M.
(ENEA-Research Centre Casaccia Roma, ITA)
資料名：
Solar Energy Materials and Solar Cells
(Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 116 ページ： 283-290 発行年： 2013年09月
JST資料番号： D0513C ISSN： 0927-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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