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J-GLOBAL ID：201302239473420284 整理番号：13A1019851

干渉顕微鏡の使用による粗さパラメータの測定

MEASUREMENT OF THE ROUGHNESS PARAMETERS WITH THE USE OF AN INTERFERENCE MICROSCOPE

著者 (2件)：

MOISEEV N. N.

(Inst. of Optophysical Measurements (VNIIOFI), Moscow, RUS)

TSELMINA I. Yu.

(Ramenskoe Instrument Construction Factory, Ramenskoe, RUS)

資料名：

Measurement Techniques (Measurement Techniques)

巻： 55 号： 9 ページ： 990-994 発行年： 2012年12月
JST資料番号： A1669A ISSN： 0543-1972 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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