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文献
J-GLOBAL ID：201302241466172032
整理番号：13A1418509
UVナノインプリントリソグラフィー フレキシブルモールドの構造,材料,および作製
UV-Nanoimprint Lithography: Structure, Materials and Fabrication of Flexible Molds
LAN Hongbo
(Qingdao Technological Univ., Qingdao, CHN)
,
LIU Hongzhong
(Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名：
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 13 号： 5 ページ： 3145-3172 発行年： 2013年05月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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