文献
J-GLOBAL ID:201302242116061080
整理番号:13A0829256
スティクション回復アクチュエーションを使用した超低電圧MEMSスイッチ
An ultra-low voltage MEMS switch using stiction-recovery actuation
著者 (4件):
KIM Min-Wu
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
,
SONG Yong-Ha
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
,
YANG Hyun-Ho
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
,
YOON Jun-Bo
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
23
号:
4
ページ:
045022,1-7
発行年:
2013年04月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)