文献
J-GLOBAL ID:201302242414170500
整理番号:13A0400443
VHF-PECVDで作製した窒化ケイ素のフォトルミネッセンス特性
Photoluminescence properties of silicon nitride prepared by VHF-PECVD
著者 (4件):
SONG Jie
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
GUO Yan Qing
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
SONG Chao
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
,
WANG Xiang
(Hanshan Normal Univ., Chaozhou, CHN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
531/532
ページ:
392-395
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)