文献
J-GLOBAL ID:201302242497385669
整理番号:13A1749540
DUVマスク検査装置を改良して次世代装置にスムースに移行できるようにする
Improvement of a DUV mask inspection tool to hand over the baton for next-generation tool smoothly
著者 (8件):
HASHIMOTO Hideaki
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
KIKUIRI Nobutaka
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
MATSUMOTO Eiji
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
TSUCHIYA Hideo
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
OGAWA Riki
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
ISOMURA Ikunao
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
ISOBE Manabu
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
,
TAKAHARA Kenichi
(Nuflare Technol., Inc.(NFT), Yokohama-shi, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8701
ページ:
87010V.1-87010V.7
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)