文献
J-GLOBAL ID:201302243138113714
整理番号:13A0811129
ゲルマニウム中へのリンイオン注入の温度依存研究
Temperature-dependant study of phosphorus ion implantation in germanium
著者 (4件):
RAZALI M. A.
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
SMITH A. J.
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
JEYNES C.
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
,
GWILLIAM R. M.
(Univ. Surrey, Surrey, GBR)
資料名:
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻:
1496
ページ:
193-196
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0071C
ISSN:
0094-243X
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)