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文献
J-GLOBAL ID：201302243169902598
整理番号：13A0840748
ラジアル型超伝導磁気軸受を適用する光マスク製造用の非接触スピンプロセッサのモデル装置の開発と試験
Development and test of model apparatus of non-contact spin processor for photo mask production applying radial-type superconducting magnetic bearing
SAITO Kimiyo
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
,
SAITO Kimiyo
(MTC Co. Ltd., Higashitakami 2-2-29, Nagaoka-shi, Niigata 940-0006, JPN)
,
FUKUI Satoshi
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
,
MAEZAWA Masaru
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
,
OGAWA Jun
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
,
OKA Tetsuo
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
,
SATO Takao
(Niigata Univ., Ikarashi Ni-no-cho 8050, Nishi-ku, Niigata 950-2181, JPN)
資料名：
Physica C. Superconductivity and Its Applications
(Physica C. Superconductivity and Its Applications)
巻： 484 ページ： 321-324 発行年： 2013年01月15日
JST資料番号： T0580A ISSN： 0921-4534 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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