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文献
J-GLOBAL ID：201302243334301464
整理番号：13A0566207
窒化チタン超薄膜の光学的及び電気的に決定された抵抗率間の相違について
On the difference between optically and electrically determined resistivity of ultra-thin titanium nitride films
VAN BUI H.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
,
KOVALGIN A.y.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
,
WOLTERS R.a.m.
(MESA+ Inst. for Nanotechnology, Univ. of Twente, P.O. Box 217, 7500 AE Enschede, NLD)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 269 ページ： 45-49 発行年： 2013年03月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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