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文献
J-GLOBAL ID：201302243450881869
整理番号：13A1808878
(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル白金とオゾンを用いての白金原子層の低温蒸着
Low-Temperature Atomic Layer Deposition of Platinum Using (Methylcyclopentadienyl)trimethylplatinum and Ozone
DENDOOVEN Jolien
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
RAMACHANDRAN Ranjith K.
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
DEVLOO-CASIER Kilian
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
RAMPELBERG Geert
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
FILEZ Matthias
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
POELMAN Hilde
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
MARIN Guy B.
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
,
FONDA Emiliano
(Synchrotron SOLEIL, Gif-sur-Yvette, FRA)
,
DETAVERNIER Christophe
(Ghent Univ., Ghent, BEL)
資料名：
Journal of Physical Chemistry C
(Journal of Physical Chemistry C)
巻： 117 号： 40 ページ： 20557-20561 発行年： 2013年10月10日
JST資料番号： W1877A ISSN： 1932-7447 CODEN： JPCCCK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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