文献
J-GLOBAL ID:201302246277772586
整理番号:13A1095615
ブラックシリコンベースハイブリッドテンプレート上マイクロチップの周囲空気における表面張力駆動自己整合
Surface-Tension-Driven Self-Alignment of Microchips on Black-Silicon-Based Hybrid Template in Ambient Air
著者 (5件):
SHAH Ali
(Aalto Univ., Aalto, FIN)
,
CHANG Bo
(Aalto Univ., Aalto, FIN)
,
SUIHKONEN Sami
(Aalto Univ., Aalto, FIN)
,
ZHOU Quan
(Aalto Univ., Aalto, FIN)
,
LIPSANEN Harri
(Aalto Univ., Aalto, FIN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
22
号:
3
ページ:
739-746
発行年:
2013年06月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)