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文献
J-GLOBAL ID：201302250842135720
整理番号：13A0401845
スッパタ深さプロファイリングによる埋込み界面の粗さの測定
Measuring the roughness of buried interfaces by sputter depth profiling
BARYSHEV S V
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
KLUG J A
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
ZINOVEV A V
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
TRIPA C E
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
PENG Q
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
PENG Q
(Duke Univ., NC, USA)
,
ELAM J W
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
VERYOVKIN I V
(Argonne National Lab., IL, USA)
資料名：
Nanotechnology
(Nanotechnology)
巻： 24 号： 1 ページ： 015708,1-6 発行年： 2013年01月11日
JST資料番号： W0108A ISSN： 0957-4484 CODEN： NNOTER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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