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文献
J-GLOBAL ID：201302251517539144
整理番号：13A1439784
化学機械的平坦化による六方晶系SiC(0001)の原子ステップテラス構造の拡張研究
Extended study of the atomic step-terrace structure on hexagonal SiC (0001) by chemical-mechanical planarization
SHI Xiaolei
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
SHI Xiaolei
(Shenzhen Key Lab. of Micro/Nano Manufacturing, Res. Inst. of Tsinghua Univ. in Shenzhen, Shenzhen 518057, CHN)
,
PAN Guoshun
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
PAN Guoshun
(Shenzhen Key Lab. of Micro/Nano Manufacturing, Res. Inst. of Tsinghua Univ. in Shenzhen, Shenzhen 518057, CHN)
,
ZHOU Yan
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
ZHOU Yan
(Shenzhen Key Lab. of Micro/Nano Manufacturing, Res. Inst. of Tsinghua Univ. in Shenzhen, Shenzhen 518057, CHN)
,
ZOU Chunli
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
ZOU Chunli
(Shenzhen Key Lab. of Micro/Nano Manufacturing, Res. Inst. of Tsinghua Univ. in Shenzhen, Shenzhen 518057, CHN)
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GONG Hua
(The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
,
GONG Hua
(Shenzhen Key Lab. of Micro/Nano Manufacturing, Res. Inst. of Tsinghua Univ. in Shenzhen, Shenzhen 518057, CHN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 284 ページ： 195-206 発行年： 2013年11月01日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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