文献
J-GLOBAL ID:201302252926156156
整理番号:13A1389679
80秒間で80000MOSFETsに対して10aAの非常に低いゲート漏れ電流を測定するテスト回路
A Test Circuit for Extremely Low Gate Leakage Current Measurement of 10aA for 80000 MOSFETs in 80s
著者 (7件):
INATSUKA Takuya
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KUMAGAI Yuki
(LAPIS Semiconductor Miyagi Co., Ltd., Ohira, JPN)
,
KURODA Rihito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TERAMOTO Akinobu
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SUWA Tomoyuki
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SUGAWA Shigetoshi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
OHMI Tadahiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
26
号:
3
ページ:
288-295
発行年:
2013年08月
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)