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文献
J-GLOBAL ID:201302252926156156   整理番号:13A1389679

80秒間で80000MOSFETsに対して10aAの非常に低いゲート漏れ電流を測定するテスト回路

A Test Circuit for Extremely Low Gate Leakage Current Measurement of 10aA for 80000 MOSFETs in 80s
著者 (7件):
INATSUKA Takuya
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
KUMAGAI Yuki
(LAPIS Semiconductor Miyagi Co., Ltd., Ohira, JPN)
KURODA Rihito
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
TERAMOTO Akinobu
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
SUWA Tomoyuki
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
SUGAWA Shigetoshi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
OHMI Tadahiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)

巻: 26  号:ページ: 288-295  発行年: 2013年08月 
JST資料番号: T0521A  ISSN: 0894-6507  CODEN: ITSMED  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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