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J-GLOBAL ID：201302253163217937 整理番号：13A0312761

DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状~大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化~

著者 (6件)：

鈴木哲也

(慶応大)

登坂万結

(慶応大)

平子智章

(慶応大)

白倉昌

(慶応大)

渡邊敏行

(神奈川県産業技術セ)

関雅樹

(JR東海)

資料名：

New Diamond (New Diamond)

巻： 29 号： 1 ページ： 35-39 発行年： 2013年01月25日
JST資料番号： X0341A ISSN： 1340-4792 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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