文献
J-GLOBAL ID:201302253411804275
整理番号:13A1293412
ロール・ツー・ロール(走査)処理用の導波路スロット励起型長レーストラック電子サイクロトロン共鳴プラズマ源
Waveguide slot-excited long racetrack electron cyclotron resonance plasma source for roll-to-roll (scanning) processing
著者 (1件):
YOU H.-j.
(National Fusion Res. Inst., Daejeon, KOR)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
84
号:
7
ページ:
073513-073513-7
発行年:
2013年07月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)