文献
J-GLOBAL ID:201302253594849817
整理番号:13A1698186
集積スライディングモード摩擦推定子を備えた精密ステージの追従制御器
Tracking control of a precision stage with integral sliding-mode friction estimator
著者 (2件):
SHEN Jing-Chung
(National Formosa Univ., Dep. of Automation Engineering, 632, Yunlin County, Taiwan)
,
YAN Chau-Chia
(National Formosa Univ., Dep. of Automation Engineering, 632, Yunlin County, Taiwan)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
19
号:
11
ページ:
1731-1736
発行年:
2013年11月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)