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文献
J-GLOBAL ID：201302256644645656
整理番号：13A0494207
X線多層光学系の製作のためのマグネトロンスパッタリングシステム
Magnetron Sputtering System for Fabrication of X-ray Multilayer Optics
NAYAK M.
(Raja Ramanna Centre For Advanced Technol., Indore, IND)
,
RAO P. N.
(Raja Ramanna Centre For Advanced Technol., Indore, IND)
,
LODHA G. S.
(Raja Ramanna Centre For Advanced Technol., Indore, IND)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
巻： 1451 ページ： 154-156 発行年： 2012年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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