文献
J-GLOBAL ID:201302256973841270
整理番号:13A1749094
32nm SOI先端的論理製造プラットフォーム上のインライン非接触高密度ダイ内監視/制御用の重要な素子性能パラメータの性能に基づく計測法
Performance-Based Metrology of Critical Device Performance Parameters for In-line Non-Contact High-density Intra-die Monitor/Control on a 32nm SOI Advanced Logic Product Platform
著者 (10件):
PELELLA Mario M.
(tau-Metrix Inc., CA)
,
MOCUTA Anda C.
(IBM Systems & Technol. Group, NY)
,
LEE Birk
(tau-Metrix Inc., CA)
,
ZAMDMER Noah
(IBM Systems & Technol. Group, NY)
,
SLISHER Dustin K.
(IBM Systems & Technol. Group, NY)
,
YU Xiaojun
(IBM Systems & Technol. Group, NY)
,
VICKERS James S.
(tau-Metrix Inc., CA)
,
TSURUTA Yota
(Tokyo Electron America, CA)
,
IYER Subramanian S.
(IBM Systems & Technol. Group, NY)
,
PAKDAMAN Nader
(tau-Metrix Inc., CA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8681
号:
Pt.2
ページ:
86813F.1-86813F.8
発行年:
2013年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)