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文献
J-GLOBAL ID：201302257320903845
整理番号：13A0739356
真空および非真空パッケージングの静電気駆動マイクロミラーの性能
Performance of an Electrostatic Actuated Micromirror in a Vacuum and Non-Vacuum Packaging
KHAN I.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
CHONG J.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
BEN MRAD R.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
,
HE S.
(Ryerson Univ., Ontario, CAN)
,
SCHERTZER M.J.
(Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名：
Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
(Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 38th Vol.5 ページ： 3987-3990 発行年： 2012年
JST資料番号： H0475B ISSN： 1553-572X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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