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文献
J-GLOBAL ID：201302257531701025
整理番号：13A1681201
ZrO2膜中の酸素拡散の応力依存性
Stress dependence of oxygen diffusion in ZrO2 film
YAMAMOTO Yasunori
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MORISHITA Kazunori
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
IWAKIRI Hirotomo
(Univ. the Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
KANETA Yasunori
(Akita National Coll. of Technol., Akita, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 303 ページ： 42-45 発行年： 2013年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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