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文献
J-GLOBAL ID：201302257621598983
整理番号：13A0542094
超音波アプリケーション用のマイクロマシニング加工したシリコン音響遅延線
Micromachined silicon acoustic delay lines for ultrasound applications
CHANG Cheng-Chung
(Texas A&M Univ., TX, USA)
,
CHO Young
(Texas A&M Univ., TX, USA)
,
WANG Lihong
(Washington Univ. in St. Louis, MO, USA)
,
ZOU Jun
(Texas A&M Univ., TX, USA)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23 号： 2 ページ： 025006,1-8 発行年： 2013年02月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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