文献
J-GLOBAL ID:201302259080639480
整理番号:13A1829564
製造便宜性のための5nm級電子光学マイクロカラムの設計の改善及びその特性
Improved design of 5 nm class electron optical microcolumn for manufacturing convenience and its characteristics
著者 (4件):
OH Tae-sik
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
KIM Dae-wook
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
AHN Seungjoon
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
SEOB KIM Ho
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
31
号:
6
ページ:
061601-061601-6
発行年:
2013年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)