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文献
J-GLOBAL ID：201302259080639480
整理番号：13A1829564
製造便宜性のための5nm級電子光学マイクロカラムの設計の改善及びその特性
Improved design of 5 nm class electron optical microcolumn for manufacturing convenience and its characteristics
OH Tae-sik
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
KIM Dae-wook
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
AHN Seungjoon
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
,
SEOB KIM Ho
(Dep. of Information Display, Coll. of Engineering, Sun Moon Univ., Tangjeong-myun, Asan-city, Chungnam 336-708, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 31 号： 6 ページ： 061601-061601-6 発行年： 2013年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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