文献
J-GLOBAL ID:201302259188487058
整理番号:13A0525326
ポリシリコン薄膜のアルミニウム誘発結晶化と結晶優先配向特性
Aluminum-induced crystallization and grain preferred orientation characteristics of polysilicon thin films
著者 (6件):
Yu Wei
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
,
Guo Yaping
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
,
Yang Yanbin
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
,
Guo Shaogang
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
,
Zhao Yi
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
,
Fu Guangsheng
(Coll. of Physics Sci. & Technol.,Hebei Univ., Baoding)
資料名:
Gongneng Cailiao
(Gongneng Cailiao)
巻:
43
号:
2
ページ:
231-234
発行年:
2012年
JST資料番号:
C2095A
ISSN:
1001-9731
CODEN:
GOCAEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
中国語 (ZH)